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深圳市现代豪方仪器仪表科技有限公司
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代理韩国MKP进口质量流量控制器 韩国进口质量流量计TSM-D220D 韩国进口质量流量计TSM-D220D 韩国进口质量流量计TSM-D220D
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MKP韩国原装质量流量计数字型大流量质量流量控制器
系列是采用数字控制回路，即使大流量也保证了响应和高准确度，可以选择多种附加功能。
多气体多量程质量流量控制器 韩国MKP MARU5000
MKP质量流量控制器（Mass Flow Controller）
多量程、多气体
MARU 5000质量流量控制器
MARU 5000质量流量控制器是严格按照SEMI工艺制造，适用于各类半导体或高纯气体要求的工艺，采用数字通讯回路，便于诊断和实时控制，具有良好的抗腐蚀性功能，可以使用不同的气体。
MKP韩国原装质量流量计优势：
通过表面EP处理，产品有抗腐蚀性
由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定
模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,Profibus）
MGMR功能（多气体，多量程）
产品参数：
MARU 5000 量程范围5sccm-50slm
流量测定范围：2%-*满量程
精度：≤±0.35%满量程（5%-35% Flow Range）/≤±1%读数（35%-* Flow Range）
响应时间：<1sec
重复性：≤±0.15%满量程
正常工作压力：50-300Kpa
大工作压力：450Kpa
零点稳定性：<±0.5%F.S./年
温度系数：0.01%满量程/℃
泄漏率：1X10-11Pa.m³/sec（He）
阀门类型：常闭
密封形式：金属
数字接口：RS485，DeviceNet ,Profibus
信号类型：模拟0-5V，数字RS485，总线Devicenet、Profibus
电源：+15-24VDC
温度范围：5-50℃
预热时间：30min
材质：STS-316L电解抛光/真空退火（0.1ｕm Ra）
以下是MKP型号
质量流量控制器
VIC-D210，VIC-D220，VIC-D240，VIC-D245，VIC-D145，VIC-D150
气体质量流量计MFC
TSM-D200，TSM-D210，TSM-D220，TSM-D230，TSM-D240，TSM-D245，TSM-D250，TSM-D220D
质量流量计
TSC-220，TSC-210，TSC-245，TSC-200，TSC-230，TSC-145，TSC-150，TSC-120
TSC145-8SW-N2-1000L，TSC150-16SW-N2-2000L